電子特氣系統(tǒng)工程：燃爆毒腐類(lèi)的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電氣特氣，特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險(xiǎn)性，微電子、半導(dǎo)體、光伏、LED、TFT_LCD、光纖、科研院等行業(yè)的客戶在工藝制程中會(huì)使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類(lèi)特種氣體應(yīng)確保安全性的特氣。

特氣供氣系統(tǒng)就是把各種特種氣體在滿足工藝制程要求的純度、壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi)。